東京エレクトロン 宮城の工場敷地内に新棟 共同研究拠点に

半導体製造装置大手の東京エレクトロン(本社:東京都港区)は9月22日、宮城県大和町の工場敷地内に建設中だった「宮城技術革新センター」が完成したと発表した。顧客企業との共同研究や装置の評価を担う拠点とする。半導体製造に欠かせない主力装置の技術開発なども想定する。
同センターは地上4階建てで、延床面積は1万9,400㎡。1階から2階にかけて顧客企業が利用できる共同研究エリアや、装置の試験ができるトレーニングセンターなどを設けている。

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